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2020-12-29 09:55 |
衍射光學(xué)元件的產(chǎn)生及其結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的輸出
本案例計(jì)算從傳輸中得到的衍射光學(xué)元件的高度分布和結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的產(chǎn)生 GGtrH~zx 關(guān)鍵詞:衍射光學(xué),衍射光學(xué)元件,結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù),GDSII,ASCII,位圖 7gcG|kKT 所需工具箱:Diffractive Optics Toolbox Basic;Tutorial在試用版本中不可用。聯(lián)系LightTrans或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷商可申請(qǐng)一段全版本的試用。 2Zip8f! 相關(guān)Tutorials:DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 Mk?I} 建模任務(wù) !yrHVc cU|jT8Q4H cyg>hX{U )A=g# D# V"iLeC 照射光束強(qiáng)度 衍射擴(kuò)散器 產(chǎn)生的光圖樣強(qiáng)度 ~7'.{VrU 建模任務(wù) H_nJST<v` TVwYFX P^W47
SO 2 擴(kuò)散器參數(shù): tb3fz")UC —相位層:4 yG$@!*| —像素尺寸:830*830nm -74T C —口徑:1*1mm 4'&BpFDUb —周期:664,83*664,83um ZRGZ'+hw 2 結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)輸出為二進(jìn)制格式 vI}S6-"< 2 需要的高度分布計(jì)算 8-YrmP2k 2 蝕刻掩模分解 @8yFM% 2 蝕刻掩模輸出為位圖和GDSII文件 y:
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