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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> PC基材上鍍ITO和AR膜，出現(xiàn)ITO和AR膜裂 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

jimmy_ 2020-12-23 14:04

PC基材上鍍ITO和AR膜，出現(xiàn)ITO和AR膜裂

PC基底硬化后進(jìn)行冷鍍ITO和AR膜，905nm增透，后工序100℃烘烤2h后ITO和AR（SiO2和TiO2）膜均出現(xiàn)了開裂。 WAq)1gwN  
請(qǐng)教下各位大佬，如何進(jìn)行工藝改善？
jimmy_ 2020-12-26 11:47
路過的大佬請(qǐng)指導(dǎo)一下，謝謝
ouyuu 2021-01-16 01:03
你設(shè)備有鹵素?zé)艏訜釂�？PC鍍膜最好用鹵素?zé)艏訜?
ouyuu 2021-01-16 17:25
膜裂原因有很多。 GZxPh&BM?  
有些是溫度的影響，有些是吸水的影響。 r4MPs-}oF  
?uAq goCl  
PC上鍍膜最好鍍一個(gè)打底層，如SIO2或者AL2O3打底，對(duì)膜裂會(huì)有很大的改善。 V2B@Lq"9`  
另外如果可以的話用離子源輔助鍍膜，也會(huì)對(duì)吸水造成的膜裂會(huì)有改善。 7a0T]  
但是離子源會(huì)造成溫度升高，所以要注意條件。 hl} iw_e  
D9yAq'k$  
實(shí)驗(yàn)要多做，各種條件都做一下。 \]Bwib%h  
具體情況具體分析，有時(shí)候設(shè)備不好也會(huì)造成問題的。  " fXs!  
并不是所有問題都可以用工藝解決的。
jimmy_ 2021-01-26 17:38
ouyuu:膜裂原因有很多。 S*l=FRFI  
有些是溫度的影響，有些是吸水的影響。 "}Oj N\  
PC上鍍膜最好鍍一個(gè)打底層，如SIO2或者AL2O3打底，對(duì)膜裂會(huì)有很大的改善。 7`J= PG$A  
另外如果可以的話用離子源輔助鍍膜，也會(huì)對(duì)吸水造成的膜裂會(huì)有改善。 ){<