探針臺 |
2020-12-10 16:43 |
形貌觀測、成分分析
SEM/EDX(形貌觀測、成分分析)掃描電鏡(SEM)可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X射線波長和強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)的,根據(jù)不同元素特征X射線波長的不同來測定試樣所含的元素。通過對比不同元素譜線的強(qiáng)度可以測定試樣中元素的含量。通常EDX結(jié)合電子顯微鏡(SEM)使用,可以對樣品進(jìn)行微區(qū)成分分析。 3LfC{ER RGK8'i/X [attachment=104967] =b[_@zq]
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