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infotek 2020-12-04 11:14

高數(shù)值孔徑衍射分束器設(shè)計(jì)

案例386(1.0) 5pO]vBT  
F?7u~b|@{  
關(guān)鍵詞: 衍射光學(xué)元件、DOE、高數(shù)值孔徑,畸變補(bǔ)償,幾何畸變,枕形,桶形,強(qiáng)度衰減,功率、陡降、損耗、預(yù)備信號(hào)場(chǎng)、光圖形、迭代傅里葉變換算法、IFTA、模組、分束器、衍射 F(deu^s%{  
uu}'i\Q  
1. 摘要 7g-Dfg.w  
p` $fTgm  
 通過(guò)該案例闡述了如何利用迭代傅里葉變換算法進(jìn)行高數(shù)值孔徑衍射分束器設(shè)計(jì)。 MzcB3pi  
 通過(guò)來(lái)分束器可以生成一個(gè)5x5規(guī)則的點(diǎn)陣圖形。 &a.']!$^"  
 然而,由于偏轉(zhuǎn)角較大使得目標(biāo)平面上這個(gè)規(guī)則的5x5點(diǎn)陣圖案產(chǎn)生了一個(gè)形變。 ZQ|5W6c  
 可以利用VirtualLab 模塊 Mod014 在迭代傅里葉變換算法設(shè)計(jì)中預(yù)補(bǔ)償該圖形的形變。 LyIKP$t  
W+KF2(lB  
2. 設(shè)計(jì)任務(wù):規(guī)則的5×5光束分束器 /K f L+"^|  
V]Sgx00;  
wY/bA}%  
 設(shè)計(jì)衍射分束器用于在衍射元件遠(yuǎn)場(chǎng)生成規(guī)則的高數(shù)值孔徑光圖形。 5\WUoSgy  
 最大衍射角(水平/豎直):α=β=22.3° ^[#=L4  
 最大衍射角(對(duì)角線)=30.1° Ddb-@YD&+0  
gt'*B5F(  
3. 設(shè)計(jì)任務(wù) jDkm:X}:  
)`^ /(YG  
 光源參數(shù): DacN {r"3  
— 高斯光源波長(zhǎng):532nm :i.t)ES  
— 光束直徑(1/e2):80um EOhC6>ATh  
 系統(tǒng)參數(shù): Y,'%7u  
— 衍射元件到屏幕距離:z=0.3m hqL+_| DW  
 期望輸出場(chǎng): M;qBDT~)  
— 期望點(diǎn)圖形:規(guī)則圖形,5×5的點(diǎn)陣 `g--QR  
— 級(jí)次間距:49.2mm *,17x`1e  
— 目標(biāo)圖案依據(jù)示例文件 M_Bu,<q^  
“Sc386_TargetPattern_1.ca2” )AI?x@  
 DOE參數(shù): RB [/q:  
— 僅改變位相的衍射光學(xué)元件 Apmw6cc  
— 離散DOE的位相階數(shù):4 ?IILt=)<  
J smB^  
4. 點(diǎn)圖形的變形 =5?.'XMk  
uxb:^d?D!  
 衍射元件通常是在等間距的計(jì)算網(wǎng)格上利用角譜域的迭代傅里葉變換算法完成設(shè)計(jì)。 _B3zRO  
 對(duì)于非近軸衍射元件,衍射角和光軸上點(diǎn)的橫向距離之間沒有線性關(guān)系。 U9 bWU'  
 對(duì)于非近軸衍射角,期望點(diǎn)位置與最終獲得枕形畸變的點(diǎn)位置之間存在一個(gè)的差異。(下圖所示為傅里葉迭代算法設(shè)計(jì)結(jié)果,該結(jié)果未經(jīng)設(shè)計(jì)目標(biāo)圖形的預(yù)補(bǔ)償處理)。 L/yaVU{aEb  
Hs$'0:  
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