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2020-11-18 10:49 |
F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析
激光掃描系統(tǒng)(LSC.0002 v1.0) H6`k%O* Sc{&h8KMTb 應(yīng)用案例概述 uxL+oP0 zNo,PERG 系統(tǒng)細(xì)節(jié)
:MF`q.:X wwdmz;0S 光源 9J7yR}2-F – 綠光二極管 "vybVWEE 元件 JmCHwyUK? – 雙軸振鏡掃描儀 XuJyso9kA – F-Theta物鏡 !%R):^R8 探測器 QmSj6pB> – 場曲和畸變探測器 cu}(\a – 光束強(qiáng)度剖面探測器 e}2?)B`[ – 焦點(diǎn)區(qū)域探測器 Ynf "g#( – 光束參數(shù)探測器 \,NT5> 模擬/設(shè)計(jì) xS@jV6E~ – 光線追跡:分析掃描場尺寸,場曲以及畸變 YkF
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