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infotek 2020-11-18 10:49

F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析

激光掃描系統(tǒng)(LSC.0002 v1.0) H6`k%O*  
Sc{&h8KMTb  
應(yīng)用案例概述
uxL+oP0  
zNo,PERG  
系統(tǒng)細(xì)節(jié) :MF`q.:X  
wwdmz;0S  
光源 9J7yR}2-F  
– 綠光二極管 "vybVWEE  
元件 Jm CHwyUK?  
– 雙軸振鏡掃描儀 XuJyso9kA  
– F-Theta物鏡 !%R):^R8  
探測器 QmSj6pB>  
– 場曲和畸變探測器 cu}(\a  
– 光束強(qiáng)度剖面探測器 e}2?)B`[  
– 焦點(diǎn)區(qū)域探測器 Ynf "g#(  
– 光束參數(shù)探測器 \,NT5>  
模擬/設(shè)計(jì) xS@jV6E~  
– 光線追跡:分析掃描場尺寸,場曲以及畸變 YkF