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2020-11-16 10:59 |
泰伯(TALBOT)光刻機(jī)
作為最著名的衍射效應(yīng)之一，泰伯(Talbot)效應(yīng)可以用于光刻技術(shù)中以制造周期性納米結(jié)構(gòu)。繼I.-H. Lee等人，我們?cè)诹呅尉W(wǎng)格上構(gòu)造了一個(gè)圓錐形光柵掩膜版，并以深度方式模擬了Talbot圖像的生成。特別是，由于光刻過(guò)程中使用的紫外光是非偏振的，因此我們?cè)谑纠醒菔玖巳绾螢閂irtualLab Fusion中的光柵模擬建模非偏振光。
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