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infotek 2020-11-09 09:28

紫外光柵偏振片的參數(shù)優(yōu)化

案例315(3.1) O z6$u  
b,^ "-r  
該應(yīng)用案例說明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化,紫外偏振片具有亞波長(zhǎng)線柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能,如193nm工作波長(zhǎng)和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 Nud =K'P=  
YIRe__7-NU  
1. 線柵偏振片的原理 &ww-t..  
)Dz]Pv]H'  
帶金屬脊的線柵偏振片(如鋁,鉻等)。 x eFx!$3  
2. 建模任務(wù) Z4i))%or  
}*(_JR4G  
\1Y|$:T/  
 全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 2OJlE) .  
 偏振元件的重要特性: s;I @En  
 偏振對(duì)比度 Zye04&x9k  
 透射率 $l*?Ce:  
 效率一致性 uLzE'Z mV  
 線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬)
iHhdoY[]  
KdkL_GSLT  
3. 建模任務(wù) nms[No?  
x-z方向(截面)                         x-y方向(俯視圖)
2A\b-;4EP  
4. 建模任務(wù):仿真參數(shù) ,y]-z8J  
C4(xtSJSd!  
偏振片#1: #$Zx