紫外光柵偏振片的參數(shù)優(yōu)化
案例315(3.1) Oz6$u b,^ "-r 該應(yīng)用案例說明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化,紫外偏振片具有亞波長(zhǎng)線柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能,如193nm工作波長(zhǎng)和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 Nud =K'P= YIRe__7-NU 1. 線柵偏振片的原理 &ww-t.. )Dz]Pv]H'
帶金屬脊的線柵偏振片(如鋁,鉻等)。 xeFx!$3 2. 建模任務(wù) Z4i))%or }*(_JR4G \1Y|$:T/ 全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 2OJlE)
. 偏振元件的重要特性: s;I
@En 偏振對(duì)比度 Zye04&x9k 透射率 $l*?Ce: 效率一致性 uLzE'ZmV 線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬) iHhdoY[] KdkL_GSLT 3. 建模任務(wù): nms[No?
x-z方向(截面) x-y方向(俯視圖) 2A\b-;4EP 4. 建模任務(wù):仿真參數(shù) ,y]-z8J C4(xtSJSd! 偏振片#1: #$Zx
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