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infotek 2020-11-04 10:50

在一個(gè)微鏡激光掃描系統(tǒng)中鏡像差對(duì)光束質(zhì)量的影響

p+Bvfn  
+LWgby4q  
概括案例
T|oDJ]\J  
gQ '=mU  
1.系統(tǒng)細(xì)節(jié) FDFVhcr  
 光源 zYPvpZV/  
- 綠色激光二極管 h9c7P@29  
 元件 c&RiUU7  
- 基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng),例如MEMS(微機(jī)電系統(tǒng)) -jTK3&5  
 探測(cè)器 o'P[uB/  
- 光線可視化檢查(3D顯示) XxB%  
- 場分布和相位計(jì)算 8BS$6Pa  
- 光束參數(shù)(M2值,發(fā)散角) \q-["W34  
 建模/設(shè)計(jì) |SJ%Myy  
- 光線追跡:首先概覽系統(tǒng)性能 Y'6P ~C;v  
- 場追跡: '+^XL6$L  
√ 光束傳播包含表面像差 j\.pS^+  
√ 分析生成光束的形狀和質(zhì)量 ~te{9/   
kc2E4i  
2.系統(tǒng)圖片 W89J]#v)k  
+x:VIi  
mp]UUpt  
:e_yOT}}  
3.模擬和設(shè)計(jì)結(jié)果 P!~&Ei  
鏡像差(由澤尼克多項(xiàng)式表示): 6l>016 x  
eLN(NSPoS  
g;3<oI/P  
5bK:sht  
4.總結(jié) Mr K?,7*Xi  
+w3k_^X9c  
基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng)(例如MEMS)中的鏡像差進(jìn)行建模和仿真。 #0qMYe>Y  
1) 模擬 oB}rd9  
通過使用光線追跡方法驗(yàn)證激光掃描設(shè)置 v}z{OB  
2) 建模 f