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在一個(gè)微鏡激光掃描系統(tǒng)中鏡像差對(duì)光束質(zhì)量的影響
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infotek
2020-11-04 10:50
在一個(gè)微鏡激光掃描系統(tǒng)中鏡像差對(duì)光束質(zhì)量的影響
p+Bvfn
+LWgby4q
概括案例
T|oDJ]\J
gQ '=mU
1.系統(tǒng)細(xì)節(jié)
FDFVhcr
光源
zYPvpZV/
- 綠色激光二極管
h9c7P@29
元件
c&RiUU7
- 基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng),例如MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))
-jTK3&5
探測(cè)器
o'P[uB/
- 光線可視化檢查(3D顯示)
XxB%
- 場分布和相位計(jì)算
8BS$6Pa
- 光束參數(shù)(M2值,發(fā)散角)
\q-["W34
建模/設(shè)計(jì)
|SJ%Myy
- 光線追跡:首先概覽系統(tǒng)性能
Y'6P ~C;v
- 場追跡:
'+^XL6$L
√ 光束傳播包含表面像差
j\.pS^+
√ 分析生成光束的形狀和質(zhì)量
~te{9/
kc2E4i
2.系統(tǒng)圖片
W89J]#v)k
+x:VIi
mp]UUpt
:e_yOT}}
3.模擬和設(shè)計(jì)結(jié)果
P!~&Ei
鏡像差(由澤尼克多項(xiàng)式表示):
6l>016 x
eLN(NSPoS
g;3<oI/P
5bK:sht
4.總結(jié)
Mr K?,7*Xi
+w3k_^X9c
基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng)(例如MEMS)中的鏡像差進(jìn)行建模和仿真。
#0qMYe>Y
1) 模擬
oB}rd9
通過使用光線追跡方法驗(yàn)證激光掃描設(shè)置
v}z{OB
2) 建模
f