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2020-10-09 11:57 |
不同輪廓亞波長光柵的成像
1. 摘要 H<6TN^ Qv~KGd9 亞光波長光柵在用傍軸光照射時僅產生一個衍射級,因此在這種情況下不會形成圖像。 為了克服此問題,可以使用非傍軸照明。在本例中,高NA聚光透鏡被用來為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明,衍射場被另一個高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過程,包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長光柵。 aB@D-Y"HO oUXi4lsSc 2. ·建模任務 lN@SfM4\ T_T@0`7 l]:nncpns 3. 結果 *>b*I4dz II=(>G9v h?UUd\RU) 4. 文件和技術信息 frsqnvm;+ Pr|:nJs
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QQ:2987619807
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