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高NA物鏡聚焦的分析
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infotek
2020-08-27 09:30
高NA物鏡聚焦的分析
摘要
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高NA物鏡廣泛用于光學(xué)光刻,顯微鏡等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用VirtualLab對(duì)這種鏡頭進(jìn)行光線追跡和場(chǎng)追跡分析非常方便。通過(guò)場(chǎng)追跡,可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,可以讓用戶深入了解矢量效應(yīng)。
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建模任務(wù)
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概觀
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光線追跡仿真
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•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為仿真引擎。
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•點(diǎn)擊Go!
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•獲得3D光線追跡結(jié)果。
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光線追跡仿真
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•然后,選擇“光線追跡”(Ray Tracing)作為仿真引擎。
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•單擊Go!
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•結(jié)果,獲得點(diǎn)列圖(2D光線追跡結(jié)果)。
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場(chǎng)追跡仿真
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•切換到場(chǎng)追跡并選擇“第二代場(chǎng)追跡”(Field Tracing 2nd Generation)作為仿真引擎。
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•單擊Go!
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