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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物鏡聚焦的分析

摘要 !LN?PKJ  
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高NA物鏡廣泛用于光學(xué)光刻,顯微鏡等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用VirtualLab對(duì)這種鏡頭進(jìn)行光線追跡和場(chǎng)追跡分析非常方便。通過(guò)場(chǎng)追跡,可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,可以讓用戶深入了解矢量效應(yīng)。 6h,(wo3Y  
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建模任務(wù) Ob`d  
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概觀 lHe{\N[C  
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光線追跡仿真 ~=RT*>G_  
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•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為仿真引擎。 ^mO~ W!"  
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•點(diǎn)擊Go!  >DZw  
•獲得3D光線追跡結(jié)果。 %Ax3;g#  
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光線追跡仿真 X1-'COQS%&  
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•然后,選擇“光線追跡”(Ray Tracing)作為仿真引擎。 v~V!ayn)wQ  
•單擊Go! .|b$NM  
•結(jié)果,獲得點(diǎn)列圖(2D光線追跡結(jié)果)。
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場(chǎng)追跡仿真 f"SD/]q-  
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•切換到場(chǎng)追跡并選擇“第二代場(chǎng)追跡”(Field Tracing 2nd Generation)作為仿真引擎。 6BbGA*%{  
•單擊Go!
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