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infotek 2020-08-10 09:21

二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置

摘要 cltx(C>   
R T~oJ~t;  
復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 C9_[ke[1D  
|Qb@.  
1. 本案例主要說明 _T7XCXEk   
 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu),通過: Gx4{ 9  
- 基于介質(zhì)的定義類型 >^IUS8v  
- 基于表面的定義類型 B~M6l7^?  
 計(jì)算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 z_=V6MDM  
 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 g[HuIn/  
t BG 9Mn  
2. 光柵工具箱初始化 U(Bmffn4Z  
 初始化 x6$3 KDQm  
- 開始→ bR1Q77<G\  
光柵→  -PU.Uw]  
一般光柵光路圖(3D光柵) O OXP1L  
jP0TyhM  
 D F=Rd#  
 注意:對于特殊類型的光柵,如柱狀光柵,可以直接選擇特定的光路圖。 K`j:F>b  
#3{{[i(;i  
3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 JStEOQF4  
 首先,必須先定義基底的厚度與材料 d