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使用傅里葉模態(tài)法分析閃耀光柵
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飛躍小河
2020-05-15 16:11
使用傅里葉模態(tài)法分析閃耀光柵
摘要
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可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運行結(jié)合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描,以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。
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傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)
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建模任務(wù)
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單次FMM仿真結(jié)果
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