SYNOPSYS中的MTF分析方法
SYNOPSYS中由許多MTF分析方法,都可在對話框MOP中找到,也可使用命令。 Q+'QJ7fw'| 一、卷積 MTF,精確 OPD(MTF);卷積 MTF,插入 OPD(ZMTF)。 ojZvgF 1. 單一頻率顯示: {kgV3 [%> [attachment=99800] ue{0X\[P< qY$/i#
[ Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR FREQ [ GRID ] GBAR 2.通過可選繪制圖分析21個頻率顯示: [attachment=99801] x0_$,Tz@
[Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR 0 [ GRID ] GBAR [ P ] 第一種方式是在FREQ的空間頻率下計算子午和弧矢的MTF,對于聚焦透鏡而言頻率單位為 cy / mm,對于 AFOCAL 而言頻率單位為 cy / mr。助記符“MTF”使用精確光線選項,而“ZMTF”使用波前插值法。如果開關(guān) 84 關(guān)閉,這是 Zernike 展開式,如果開啟,則是線性樣式。可以為 ICOL 輸入明確的顏色編號,為主要顏色輸入字母“P”,或者輸入字母“M”,表示多色分析。如果輸入 P,則第二種形式給出 21 個頻率的 MTF,并且可選地給出曲線圖。 二、多視場卷積 MTF,精確 OPD( MFF);多視場卷積 MTF,插值 OPD( MZMTF) 從對話框MMF中或命令模式下獲得四個視場點的卷積MTF。 |