| cyqdesign |
2020-04-07 14:22 |
VirtualLab：光柵階次分析器
摘要 T 9 [Q
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光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務。效率可由瑞利系數(shù)計算得到，對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 * 0=j?~&
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光柵詳細說明 Tua Bm1S{f
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•為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 b d!Y\OD
•可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 'TB2:W3
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光柵階次分析器設置 13x p_j
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•定義光柵結(jié)構后，可以配置光柵階次分析器。 NK
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•可以指定各種輸出選項。 '}Z<h?9
•可以在光學設置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 "3Y0`&:D
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常規(guī)設置 AFwdJte9e
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•在“常規(guī)”選項卡中，可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 Wm v#:U
•另外，可以指定是否要評估透射、吸收和反射的總和，以及是否要顯示極坐標圖。 .HABNPNg(
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單個階次設置 _6vW F
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•在“單個階次”選項卡中，可以選擇是否記錄單個階次的信息。 4;2uW#dG"
•如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運行或參數(shù)優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定階次的光柵，則此選項非常有用。 NC6&x=!3
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