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探針臺(tái) 2020-01-09 11:44

半導(dǎo)體術(shù)語解釋 （八）

244) Uniformity  均勻性 ./ib{ @A.  
      （最大值－最小值）/（2*平均值），有兩種均勻性：一種是一片Wafer的均勻性（within wafer），測得五個(gè)點(diǎn)，然后得到最大值最小值和平均值，再安公式計(jì)算。另一種是Wafe之間的均勻性(wafer to wafer)，同樣測得最大值和最小值和平均值再計(jì)算均勻性。 B69