| 探針臺(tái) |
2020-01-09 11:17 |
半導(dǎo)體術(shù)語(yǔ)解釋 （一）
1) Acetone 丙酮 F0~<p[9Nx
丙酮是有機(jī)溶劑的一種，分子式為CH3COCH3 )*`h)`\y
性質(zhì)：無(wú)色，具剌激性薄荷臭味的液體 skBD 2V4
用途：在FAB內(nèi)的用途，主要在于黃光室內(nèi)正光阻的清洗、擦拭
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毒性：對(duì)神經(jīng)中樞具中度麻醉性，對(duì)皮膚粘膜具輕微毒性，長(zhǎng)期接觸會(huì)引起皮膚炎，吸入過(guò)量的丙酮蒸氣會(huì)刺激鼻、眼結(jié)膜、咽喉粘膜、甚至引起頭痛、惡心、嘔吐、目眩、意識(shí)不明等。 lh[?`+A
允許濃度：1000ppm G{I),Y~IF
2) Active Area 主動(dòng)區(qū)域 T];dFv-GT
MOS核心區(qū)域，即源，汲，閘極區(qū)域 Bhv$
3) AEI蝕刻后檢查 !JyY &D~`
（1） AEI 即After Etching Inspection，在蝕刻制程光阻去除前和光阻去除后，分別對(duì)產(chǎn)品實(shí)施主檢或抽樣檢查。 x|O^#X(,
（2） AEI的目的有四： tJybR"NQ
提高產(chǎn)品良率，避免不良品外流。 TDUY&
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