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xunjigd 2019-12-04 12:07

VirtualLab:白光邁克爾遜干涉儀

1. 摘要 GP(nb,  
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白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 {t*CSI  
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[attachment=97104] z.!u<hy(  
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2. 建模任務(wù) V$_.&S?(Y  
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[attachment=97105] Jsa;pG=3&  
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3. 干涉條紋的變化 j|>^wB  
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[attachment=97106] \('WS[$2  
7ju^B/ 7  
4. 走進(jìn)VirtualLab Fusion CHVAs9mrNB  
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[attachment=97107] ~ Zw37C9J  
   t:P]G>)x|  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 jItVAmC=i  
dt Br#Te  
  • 輸入場(chǎng)設(shè)置
  • 定義元件的位置和方向
  • 正確設(shè)置非序列追跡通道
  • 使用“參數(shù)運(yùn)行”檢查影響/變化
[attachment=97108] jFl!<ooCo  
Rw<O%i5/d  
6. VirtualLab Fusion 技術(shù) xS;