| 天藍(lán)色3230 |
2019-10-26 22:40 |
大口徑大曲率半徑光學(xué)元件的高精度檢測(cè)
摘要：針對(duì)目前已有的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備無法實(shí)現(xiàn)大口徑大曲率半徑光學(xué)元件高精度檢測(cè)的問題，提出利用長程輪廓儀（ LTP）來進(jìn)行大口徑大曲率半徑（正、負(fù)）光學(xué)元件的精確測(cè)量，并通過實(shí)驗(yàn)證明了LTP檢測(cè)大曲率半徑光學(xué)元件的優(yōu) 勢(shì)。分析計(jì)算LTP測(cè)量曲率半徑的算法精度，設(shè)計(jì)了合理的機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)測(cè)量，得到了全口徑的曲率半徑分布。 最后與球徑儀、刀口儀的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比。對(duì)R=37.108m和R=41.065m的球面鏡測(cè)量結(jié)果顯示， LTP的測(cè)量 重復(fù)性在0.05%以內(nèi)，與球徑儀、刀口儀的測(cè)量值相差均在0.05%以內(nèi)。研究結(jié)果表明，LTP可以用來解決目前幾十米 的大R曲率半徑光學(xué)元件難以高精度測(cè)量的難題。 [ $fJRR
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關(guān)鍵詞：長程輪廓儀；曲率半徑測(cè)量；算法精度；旋轉(zhuǎn)測(cè)量
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