| xunjigd |
2019-10-14 10:32 |
VirtualLab：分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦
摘要 >i2W YT
"s\himoa
高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 =>xyJ->R
}wGy#!CSza
[attachment=96099]
N F_[q(k'
sTi3x)#x B
建模任務(wù) +?0r%R%\
H$xUOqL
[attachment=96100] zY&/lWW._
en16hd>^W:
入射平面波 z s[zB #
波長 2.08 nm a &hj|
光斑直徑： 3mm W0# VD
| |