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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 機(jī)臺清機(jī)前后分光偏移過大 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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孔鑫鑫	2019-09-24 19:52
機(jī)臺清機(jī)前后分光偏移過大機(jī)臺清機(jī)后7層AR膜朝短波偏移50個納米，機(jī)臺是成都四盛的1350，晶控鍍膜，溫度280，3.0-3鍍膜，涉谷的電子槍，清機(jī)周期為一個班10天，各位大神幫忙分析一下什么原因，謝謝啦

孔鑫鑫	2019-09-25 07:43

孔鑫鑫	2019-09-25 07:44
一圖清機(jī)后，2圖清機(jī)前，三圖和一圖重復(fù)

孔鑫鑫	2019-09-25 11:48
機(jī)臺是一年多一點(diǎn)的新機(jī)臺，蒸發(fā)速率H4、MGF2都是5Ã/S

淡小疼	2019-09-25 22:09
第一次出現(xiàn)這種情況還是每次清理完都有這種情況？

孔鑫鑫	2019-09-26 08:32
已經(jīng)連續(xù)兩次了，我也是剛到這邊沒多久

超級便當(dāng)盒	2019-09-26 16:55
擋板位置有偏差？

sosjinyan	2019-09-26 17:04
我用的光馳機(jī) 晶控。也有這個情況，特性無緣無故左移。 6年時間大概出現(xiàn)過4-5次左右吧