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macleod軟件的reverse engineer不準(zhǔn)確
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ldw9756
2019-08-26 16:46
macleod軟件的reverse engineer不準(zhǔn)確
Ta2O5/SiO2兩層膜反演material,跟filmwizard反演結(jié)果相差極大,本來SiO2厚度差40%,計算結(jié)果為8%,filmwizard算的比較準(zhǔn)。
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反演隨機(jī)誤差倒是出來個SiO3有30%的差別。
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