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探針臺(tái) 2019-07-25 13:35

微光顯微鏡 EMMI原理

對(duì)于故障分析而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用且效率極高的分析工具。主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs) Recombination會(huì)放出光子(Photon)。舉例說(shuō)明:在P-N結(jié)加偏壓,此時(shí)N阱的電子很容易擴(kuò)散到P阱,而P的空穴也容易擴(kuò)散至N然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination f<rn't{  
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          2.飽和區(qū)晶體管的熱電子 8Ed