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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 如何提高蒸發(fā)速率？ [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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xiezhizhi	2019-07-17 22:46
如何提高蒸發(fā)速率？南光鍍膜機(jī)。直接水冷無氧銅坩堝，涉谷電子槍。鍍鍺蒸發(fā)速率只有1A/s 電子槍束流230毫安真空度1.0*10-3pa。請問如何提高蒸發(fā)速率。

ouyuu	2019-07-17 23:06
速率是晶控控制的。調(diào)晶控參數(shù)

lilisrlhj	2019-07-19 11:18
鍺料經(jīng)常會遇到這種狀況，多數(shù)增加蒸發(fā)功率也無法達(dá)到需要的蒸發(fā)速率，建議從電子槍和坩堝入手檢查，建議換小口徑的坩堝材料用石墨的比較合適。

囊中蓄乾坤	2019-07-20 18:39
沒有鍍過，來學(xué)習(xí)的。

淡小疼	2019-07-21 22:59
換個材料的坩堝

opticsrain	2019-07-28 11:17
晶控參數(shù)和電子槍功率的改變不管用的話，可以調(diào)整電子束掃描范圍試試。

xiezhizhi	2019-08-06 23:44

如何提高蒸發(fā)速率？