synopsys中基于方差的像差
波前差是像質(zhì)的有用度量，VARIANCE命令可以計(jì)算方差、標(biāo)準(zhǔn)偏差、X和Y中的圖像點(diǎn)。后兩個(gè)量給出了參考球面中心的位置，在該位置方差被最小化，如果該分析是多波長(zhǎng)的，從所請(qǐng)求的色差或主波長(zhǎng)色差的主要光線(xiàn)點(diǎn)測(cè)量。這是對(duì)衍射圖樣的峰值位置的一個(gè)有用的近似，只要OPD誤差小于一個(gè)波長(zhǎng)。對(duì)于畸變非常重要的透鏡，比如顯微光刻物鏡，我們希望控制這個(gè)位置，而不是僅僅控制主光線(xiàn)截距的位置——這是校正畸變的一個(gè)更常見(jiàn)的目標(biāo)。本節(jié)描述的像差允許我們這樣做。格式是: %=**cvV y
M TAR WTA { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS ?N kKDvv
M TAR WTA { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS i>M%)HN
M TAR WTA { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS c5]Xqq,
M TAR WTA { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS /x3*oO1
M TAR WTA { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS oR#W@OK@is
M TAR WTA { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS j6%W+;{/pj
它們?cè)贏ANT文件中。XIP和YIP的值給出了從參考點(diǎn)到像點(diǎn)的距離，接近衍射圖樣的峰值。參考點(diǎn)是在請(qǐng)求的色差中，或如果請(qǐng)求多波長(zhǎng)“M”則在主波長(zhǎng)色差中，在請(qǐng)求的視場(chǎng)角處的主光線(xiàn)點(diǎn)。WVAR返回波前差，WSTD返回方差的平方根，即波前的標(biāo)準(zhǔn)偏差。 gt{kjrTv&
IPX和IPY是相關(guān)的，但是不同。在這里，程序找到像點(diǎn)，然后也找到軸上物體的對(duì)應(yīng)點(diǎn)。返回值是X和Y的差值，單位是透鏡單位。因此，如果軸上像是完美的，計(jì)算返回在請(qǐng)求的視場(chǎng)處像點(diǎn)的位置。如果軸上像點(diǎn)有非零坐標(biāo)(例如，由于軸向彗差)，從該點(diǎn)而不是從頂點(diǎn)測(cè)量返回值。因此，為了控制畸變，目標(biāo)是所需的圖像比例與IPX或IPY返回的值之差。 ?(ORk|)kU
用VARIANCE進(jìn)行計(jì)算，追跡大約NRYS條光線(xiàn)并找到所需的量。
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