| optics1210 |
2019-05-17 11:41 |
AANT文件中基于方差的像差
摘自User's Manual 10.3.1.3節(jié) qXP)R/~OZ
波前方差是像質的有用度量，VARIANCE命令可以計算方差、標準偏差、X和Y中的圖像點。后兩個量給出了參考球面中心的位置，在該位置方差被最小化，如果該分析是多色的，從所請求的色差或主色差的主要光線點測量。這是對衍射圖樣的峰值位置的一個有用的近似，只要OPD誤差小于一個波長。對于畸變非常重要的透鏡，比如顯微光刻物鏡，我們希望控制這個位置，而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個更常見的目標。本節(jié)描述的像差允許我們這樣做。格式是: z\fD}`^8
M TAR WT A { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS SQa.xLU
M TAR WT A { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS A B}Qd\
M TAR WT A { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS sh nfH
M TAR WT A { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS v_)cp9d]
M TAR WT A { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS O h<Z0M)
M TAR WT A { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS D
zl#[|q
它們在AANT文件中。XIP和YIP的值給出了從參考點到像點的距離，接近衍射圖樣的峰值。參考點是在請求的色差中，或如果請求多色“M”則在主色差中，在請求的視場角處的主光線點。WVAR返回波前方差，WSTD返回方差的平方根，即波前的標準偏差。 r")=Z1y
IPX和IPY是相關的，但是不同。在這里，程序找到像點，然后也找到軸上物體的對應點。返回值是X和Y的差值，單位是透鏡單位。因此，如果軸上像是完美的，計算返回在請求的視場處像點的位置。如果軸上像點有非零坐標(例如，由于軸向彗差)，從該點而不是從頂點測量返回值。因此，為了控制畸變，目標是所需的圖像比例與IPX或IPY返回的值之差。 w#XE!8`
用VARIANCE進行計算，追跡大約NRYS條光線并找到所需的量。 9I30UL m
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