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膜厚儀tooling問題
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cugzqq
2018-10-17 08:36
膜厚儀tooling問題
請問大家，為什么修改tooling膜的厚度也會變化呢，tooling是怎么控制膜厚的，工作原理是什么？謝謝！
ouyuu
2018-10-17 08:46
TOOLING是個比例。
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因為位置，角度，遮擋的不同，
F\&wFA'J
膜厚儀上得到的膜厚和實際鍍在片子上的膜厚是不一樣的。
morningtech
2018-10-17 11:45
定義上，膜厚儀中材料 Tooling = 樣品上層厚度/晶振片上層厚度
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如ouyuu說，就是個比例系數(shù)。
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