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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 關(guān)于可見(jiàn)光區(qū)域400nm-700nm增透膜牢固度 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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1111111111	2018-09-19 13:32
關(guān)于可見(jiàn)光區(qū)域400nm-700nm增透膜牢固度現(xiàn)在工藝一：ti3o5+soi2+ti3o5+soi2+ti3o5+soi2 溫度：280℃，真空度：2.0E-3帕。牢固度差，超聲波打了以后，膜層會(huì)脫落 >W'"xK\|: _No<fz8 工藝二：MGF2+TIO2+MGF2+TIO2+MGF2+TIO2溫度：280℃，真空度：2.0E-3帕，手工擦以后，會(huì)起霧

yzhuang	2018-09-20 14:13
從你提供的參數(shù)看沒(méi)覺(jué)得哪里有問(wèn)題，你是不是可以第一層用SiO2試試，對(duì)曲線影響很小，也許可以改善結(jié)合力。 YKa9]Q

ouyuu	2018-09-21 00:12
第一種工藝，鍍膜前離子源用Ar打一下。增加附著力

knight627	2018-09-22 11:20
,看你工藝參數(shù)沒(méi)任何問(wèn)題,正常來(lái)講不會(huì)說(shuō)用超聲波洗下就脫膜.個(gè)人建議1.用表面溫度計(jì)實(shí)測(cè)溫度2.檢測(cè)機(jī)器是否有異常,如果有擴(kuò)散泵是否返油 3,測(cè)下鍍膜實(shí)際折射率,是否槍的問(wèn)題.4.基底表面清潔重點(diǎn)看1,2

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