| gangzi0801 |
2018-08-29 10:08 |
飛秒激光精密微納加工的研究進展
飛秒激光精密微納加工的研究進展 ~zhP[qA})
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飛秒激光由于其超快時間特性和超高峰值功率特性在精密微納加工領域引起了人們廣泛的重視。在與物質(zhì)的相互作用中它能快速、準確地將能量作用在特定的區(qū)域內(nèi)，從而可以獲得極高的分辨率和加工精度。文章綜述了飛秒激光精密微納加工的最新研究進展，分別就飛秒激光燒蝕微加工和飛秒激光雙光子聚合產(chǎn)生三維微納結(jié)構(gòu)進行了介紹,闡述了各自的物理機制.最后對飛秒激光微納加工的研究前景做了初步探討。
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