亚洲AV日韩AV无码污污网站_亚洲欧美国产精品久久久久久久_欧美日韩一区二区视频不卡_丰满无码人妻束缚无码区_久爱WWW成人网免费视频

首頁 -> 登錄 -> 注冊 -> 回復(fù)主題 -> 發(fā)表主題

光行天下 -> 光電資訊及信息發(fā)布 -> 極紫外光刻機光源技術(shù)項目通過驗收 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

[打印本頁]

cyqdesign

2007-01-19 18:15

極紫外光刻機光源技術(shù)項目通過驗收

日前，中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所“極紫外光刻機光源技術(shù)研究”項目通過驗收，這標(biāo)志著我國在下一代芯片工藝核心技術(shù)——極紫外光刻(EUVL)光源轉(zhuǎn)換效率上已達(dá)國際先進(jìn)水平。

作為一種新型的微電子光刻技術(shù)，“極紫外光刻”以波長為13.5納米的“軟X射線”為曝光光源，最終將成為生產(chǎn)更細(xì)線寬集成電路的主流技術(shù)。

famen	2009-10-10 23:36
做光源的，為哪個單位提供？

查看本帖完整版本: [-- 極紫外光刻機光源技術(shù)項目通過驗收 --] [-- top --]

<dfn id="rmrld"><source id="rmrld"></source></dfn>