| ttb2016 |
2018-06-26 16:01 |
中國超精密拋光工藝被封鎖：設備進口價超千萬
在茫茫宇宙中，一個類金屬合金宇宙探測器以超光速掠過，它由被強互作用力鎖死的質(zhì)子與中子構(gòu)成，因表面絕對光滑而可以反射一切電磁波，并且無堅不摧……這是劉慈欣在科幻小說《三體》中提到的一種名叫“水滴”的宇宙飛行器。 eZs34${fN
Ak[} s|,)
事實上，人類對“絕對光滑”的追求也已經(jīng)從科學幻想轉(zhuǎn)變?yōu)閷嵺`，比如推動“集成電路變身革命”的超精密拋光技術(shù)。像《三體》中描述的一樣，當前最為先進的化學機械拋光（chemical mechanical polishing，CMP）技術(shù)也已進入原子尺寸級。而當電子工業(yè)強國爭相攀登或到達這一工藝巔峰之時，我們卻還只能仰望。 u$d
T^c
7u-o7#,X2
現(xiàn)代電子工業(yè)，超精密拋光是靈魂 }; ! S2+
n\&[^Q#b|
物理拋光是上世紀80年代之前最為常用的拋光技術(shù)，但是電子工業(yè)的高速發(fā)展對材料器件的尺寸、平整度提出越來越嚴苛的要求。當一塊毫米厚度的基片需要被制成幾十萬層的集成電路時，傳統(tǒng)老舊的拋光工藝已經(jīng)遠遠不能達到要求。 io^^f|
D
| |