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2018-05-30 10:56 |
光學斷層掃描干涉法
摘要 qZACX.Hw e`zx#v 掃描干涉法是實現(xiàn)表面高度測量的技術(shù)。通過利用白色光源的低相干性,只有當光程差在相干長度內(nèi),干涉圖案才會出現(xiàn)。因此,它使精確微觀測量成為可能。使用一個氙燈搭建了一個邁克耳孫干涉儀,用于測量具有平滑變化前表面的樣品。 bhDV U(%I6 |1wfLJ4--l [attachment=84368] c""*Ng*T iZ
%KHqG 建模任務 =B<>H$ 6MQ+![fN [attachment=84369] A5cx!h *F0O*n*7W 結(jié)果 8\HL8^6c5 Qn'Do4Le [attachment=84370] H6%QM}t 'QW/TJ=7r 文件信息 k=1([x (T:OZmEO. [attachment=84389] CZ"~N` .'N:]G@! (來源:訊技光電) @zo}#.g
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