| 訊技david | 2018-04-28 14:19 |
VLF技術(shù)文章——用于微結(jié)構(gòu)晶片檢測的光學(xué)系統(tǒng)在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，晶片檢測系統(tǒng)用于檢查晶片上的缺陷并找到它們的位置。為保證微結(jié)構(gòu)的圖像解析度，檢測系統(tǒng)常使用一個高NA的物鏡，工作在紫外波長范圍。作為一個例子，模擬了一個完整的晶片檢測系統(tǒng)，包括高NA聚焦效應(yīng)和光與微結(jié)構(gòu)的互作用，并演示了圖像的形成。  建模任務(wù)  結(jié)果  結(jié)果  結(jié)果  文件信息  Best wishes, 行銷部 17621763047（微信同號） --------------------------------------------------------------------- 訊技光電科技（上海）有限公司/上海訊稷光電科技有限公司/訊稷光拓科技（香港）有限公司 上海市普陀區(qū)武威路88弄（中鑫企業(yè)廣場）21號樓A座2樓郵編：200333 Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 轉(zhuǎn) 809 分機 手機號：17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com --------------------------------------------------------------------- 訊技光電2018年度課程上線，歡迎點擊以下鏈接查閱，或來信索取完整版年度課程PDF檔: | |