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光行天下 -> 光學(xué)檢測、光學(xué)測量與光機(jī)裝調(diào) -> 絕對平面檢測方法的研究進(jìn)展 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

200833 2018-04-16 18:11

絕對平面檢測方法的研究進(jìn)展

光學(xué)平面的干涉檢測發(fā)展至今，檢測精度已經(jīng)大大提高，而高精度的平面檢測很大程度上受限于參考平面的精度，針對參考平面面形對檢測結(jié)果的影響，利用絕對平面檢測方法，通過多次測量以達(dá)到消除參考平面偏差的目的。從測量方式和計(jì)算方法兩個(gè)方面分析了不同絕對平面檢測方法的原理，介紹了最新發(fā)表的相關(guān)成果以及研究動(dòng)態(tài)，并對比了檢測結(jié)果。這些檢測方法已經(jīng)精確到像素級，并通過多種計(jì)算方法使得峰谷（PV）值的計(jì)算精度大部分達(dá)到了λ/100。
875192871 2018-04-18 11:07
謝謝大佬  
875192871 2018-04-18 14:55
大佬  zygo好像最多只能測試1/20λ的面型吧
微笑向暖 2018-04-24 09:13
我們現(xiàn)在做的平片就是要求面型1/100d的
jyx123456 2018-04-28 09:04
文章很實(shí)用
yita_0310 2018-05-12 10:34
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)~~~~~~~~
小志250 2018-05-24 10:16
能做到嗎
l3x13999 2018-05-24 16:47
來看看
l3x13999 2018-05-24 16:47
非球面檢測？
540852739 2018-05-30 15:22
謝謝分享 sjztT<{Q^-  
540852739 2018-05-30 15:23
學(xué)習(xí)了
freshment 2018-06-07 14:10
多謝多謝 jMg