訊技david |
2018-04-10 16:02 |
不同輪廓亞波長光柵的成像
1. 摘要 )2W7>PY ~yXDN4s 亞光波長光柵在用傍軸光照射時僅產(chǎn)生一個衍射級,因此在這種情況下不會形成圖像。 為了克服此問題,可以使用非傍軸照明。在本例中,高NA聚光透鏡被用來為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明,衍射場被另一個高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過程,包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長光柵。 k
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G 2. ·建模任務 g1F9IB42@< ;A"i.:ZT M^l%*QF[,q 3. 結(jié)果 A`vRUl,c= jZ5ac=D&I ?t\GHQ$$? 4. 文件和技術(shù)信息 G~&q
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