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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 真空鍍膜知識(shí) [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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yixiangren

2006-12-12 05:12

真空鍍膜知識(shí)

　　所謂真空鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi)，采用一定方法加熱待鍍材料，使之蒸發(fā)或升華，并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。在真空條件下成膜可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過程中于分子的碰撞，減少氣體中的活性分子和蒸發(fā)源材料間的化學(xué)反應(yīng)（如氧化等），以及減少成膜過程中氣體分子進(jìn)入薄膜中成為雜質(zhì)的量，從而提供膜層的致密度、純度、沉積速率和與基板的附著力。通常真空蒸鍍要求成膜室內(nèi)壓力等于或低于10-2Pa，對于蒸發(fā)源與基板距離較遠(yuǎn)和薄膜質(zhì)量要求很高的場合，則要求壓力更低。

feishiff	2006-12-13 22:51
o ,這樣，可以在介紹詳細(xì)點(diǎn)嗎？

seraphic	2006-12-16 16:27
可以貼一些專業(yè)文章嗎？這樣太籠統(tǒng)了

yin2006	2006-12-16 16:30
摟主有沒有詳細(xì)介紹的書籍呀？

yixiangren	2006-12-16 18:23
有，可惜沒有電子版的。

penguiyun	2006-12-29 16:42
該主題已被管理員屏蔽!

yixiangren	2006-12-30 15:34
寫的比較詳細(xì)，謝謝！

心靈元素	2007-01-03 16:04
寫的比較詳細(xì)，謝謝！

aaoe	2007-01-23 18:23
很詳細(xì)的東西，謝謝了．

starofage	2007-01-23 21:44
多謝！�。。。。。。。。。。。。。。。。。�！

anguang	2007-01-28 11:27
謝謝!!!!!!!!!!!!!!!!

行者無疆	2007-01-31 23:35
挺詳細(xì)!謝謝了!有電子版的更好了

hongyuan	2007-02-06 15:11
謝謝，知道了！�。。。。。。。�！

5workhard	2007-02-06 15:31
看過了，謝謝了�。�！

zuiyuan	2007-03-13 15:10
很可以的哦,呵呵

jfstudent	2007-06-13 21:48
請教基片加熱溫度與濺射源,材質(zhì),距離等的數(shù)學(xué)關(guān)系/

guangtou	2007-06-23 22:22
謝了！ c&a.<e3mL 很專業(yè)�。。�！

czq7911	2007-07-01 20:34
謝謝!~~ 很好...

msgt	2007-07-11 17:59
謝謝��！

sdone	2007-08-08 12:05
thank yuo

雨點(diǎn)	2007-09-14 00:31
呵呵 6樓的兄弟累著拉弄那么多

云光	2007-09-24 08:55
不錯(cuò)。動(dòng)了一點(diǎn)

yogi	2007-09-24 19:02
想多了解些啊.

lilongcs99	2007-09-27 13:20
沒有技術(shù)含量，來點(diǎn)精華的

wgp000	2007-10-03 15:50
謝謝！

雨點(diǎn)	2007-10-04 09:42
就這么點(diǎn)呀細(xì)點(diǎn)貝

dapengpeng	2007-10-08 17:34
多謝�。。。。。。。。。。。。。。。。。。�！

krj80	2007-10-10 14:12
1111111111111111111

oudexu	2008-02-29 20:22
有電子版的嗎?

oudexu	2008-03-02 19:14
歸納的非常好

zhou0618	2008-03-05 08:10
多謝，最好詳細(xì)一點(diǎn)

zpsxah	2008-06-05 09:03
了解一點(diǎn)基礎(chǔ)知識(shí)也不錯(cuò),謝謝

lywfeng	2009-07-23 22:02
......當(dāng)作了解

玻璃人	2009-09-08 13:31
呵呵。。真空鍍膜不應(yīng)該只是蒸鍍，濺鍍也是真空鍍膜啦�。�！

zfl813	2011-09-01 21:52
我下了，謝謝！!！

xingmeng1227	2011-11-30 22:03
小兒科

朱小朱	2011-12-29 13:14
樓主辛苦了謝謝

gaofei555	2024-08-31 16:27
簡單易懂了些

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