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mainbomb 2006-12-11 20:53

關(guān)于磁控濺射薄膜表面的平整度?

一般的磁控濺射儀器對(duì)薄膜的表面能達(dá)到什么量級(jí)的平整度? oNFvRb2Rd  
"BvAiT{u  
如果在兩次相同的條件下,表面的平整度差別比較大可能是什么原因引起的呢? ETMF.-P  
,| Zkpn8  
非常感謝。
mainbomb 2007-03-11 10:56
這么久了還是沒人理啊
j123456789 2007-04-09 21:12
你指的是表面粗糙度 還是其它意思?
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