摘要：微納光學(xué)結(jié)構(gòu)技術(shù)是指通過在材料中引入微納光學(xué)結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)新型光學(xué)功能器件。其中表面等離子體光學(xué)、人工負(fù)折射率材料、隱身結(jié)構(gòu)，都是通過引入微納結(jié)構(gòu)控制光的衍射和傳播，從而實現(xiàn)新的光學(xué)性能。從這個角度來講，微納光學(xué)結(jié)構(gòu)的設(shè)計和制造是微納光學(xué)發(fā)展的共性關(guān)鍵技術(shù)問題，微納光學(xué)是新型光電子產(chǎn)業(yè)的重要發(fā)展方向。 \S<5b&G  
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關(guān)鍵字：微納光學(xué) ；納米制造；微納光學(xué)產(chǎn)業(yè)； \fz j fZ1n  
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Abstract： Micro-nano optical structure technology refers to through the introduction of micro-nano optical structure in the material, implement new optical functional devices. The surface plasmon optics, artificial negative refractive index materials, stealth structure, through the introduction of micro-nano structure control of light diffraction and transmission, so as to realize the new optical performance. From this perspective, micro-nano optical structure design and manufacture is the universal key technical problems in the development of micro-nano optics, micro-nano optics is a new important development direction of optoelectronic industry. g7P1]CZ}  
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Key words  :  micro-nano optics; nanofabrication; micro-nano optical industry 31*6 ;(  
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1.微納光學(xué)技術(shù)的多種應(yīng)用 X2uX+}h*tA  
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1）加工新型光柵 =e;wEf%`  
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借助于大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)，可以加工出新型的光柵。光柵是個實用性很強(qiáng)的基本光學(xué)器件，在23ARTICLE | 論文激光與光電子學(xué)進(jìn)展2009.10光譜儀、光通信波分復(fù)用器件、激光聚變工程、光譜分析等領(lǐng)域中大量使用。傳統(tǒng)的表面光柵不論是機(jī)械刻畫光柵，還是全息光柵，其表面的光柵結(jié)構(gòu)是很薄的。明膠或光折變體全息光柵的光柵厚度較厚，由于制造工藝的一致性、溫度穩(wěn)定性和長期穩(wěn)定性問題，在實際應(yīng)用時仍然有限制。 O$H150,Q  
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2）制作深刻蝕亞波長光柵 5