穩(wěn)定性上很難說。 0-oR
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新柯隆在低端機上用過一陣子ULVAC的晶控儀, ^^qB=N[';
后來因為軟件問題,包括售出的機器全換成了INFICON的。 f.!)O@HzH
然后ULVAC的老板信誓旦旦說軟件修好了,沒問題了, X@*$3z#Z
然后又買了400多臺,然后又是各種問題。 S ])Ap'E
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新柯隆的利潤基本上一半都花在了事后幫那幫日本人擦屁股上了。 pE[ul
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回過頭來講,晶振的原理非常清楚,做晶振一點也不難。 ?H#]+SpOcv
難就難在抗干擾上了,加熱絲開關(guān)造成的電壓波動; !i&^H,
電子槍高電壓6KV~10KV;離子源的RF射頻干擾; FYFP6ti
機械泵和POLYCOLD的震動……