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    [求助]玻璃鍍膜后膜內(nèi)起白霧，跪求大神們討論產(chǎn)生原因 [復制鏈接]

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    只看該作者 20樓 發(fā)表于: 2018-08-25
    ①DOME溫度過高，可以嘗試降低溫度。 \ O*8%  
    ②預清潔功率過大或時間過長，造成基板表面粗糙度增大引起發(fā)霧。 =5 a|'O  
    ③H4和MGF2鍍增透膜的話，可以溫度設(shè)定在300℃左右。
    離線dcfcwdx
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    只看該作者 21樓 發(fā)表于: 2018-08-30
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:沒人覺得是散射嗎？ Vo G`@^s  
    問題還在結(jié)晶上，試著調(diào)整一下鍍膜溫度和速率，還有充氧。 bL6, fUS  
    其實有離子源會更好些。 (2017-08-21 17:22)  2@W'q=+0  
    P+9%(S)L3  
    溫度、速率還有充氧具體要像哪個方向調(diào)節(jié)呢，比如說沖多點氧還是少點
    離線ouyuu
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    只看該作者 22樓 發(fā)表于: 2018-09-05
    回 dcfcwdx 的帖子
    dcfcwdx:溫度、速率還有充氧具體要像哪個方向調(diào)節(jié)呢，比如說沖多點氧還是少點 (2018-08-30 13:27)