①DOME溫度過高，可以嘗試降低溫度。 wU|jw(  
②預(yù)清潔功率過大或時間過長，造成基板表面粗糙度增大引起發(fā)霧。 3%)@c P:
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③H4和MGF2鍍增透膜的話，可以溫度設(shè)定在300℃左右。

ouyuu:沒人覺得是散射嗎？ LcB+L](  
問題還在結(jié)晶上，試著調(diào)整一下鍍膜溫度和速率，還有充氧。 cQ'x]u_  
其實有離子源會更好些。 (2017-08-21 17:22)   q*94vo-  

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