衡量微透鏡光學(xué)質(zhì)量的性能參數(shù)有很多，對(duì)于折射微透鏡有焦距、表面粗糙度、陣列均勻性等物理參數(shù)和點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)等光學(xué)性能參數(shù)，而對(duì)于衍射微透鏡有衍射效率這一重要參數(shù)。目前，針對(duì)微透鏡參數(shù)的測(cè)量方法有多種，如干涉法、CCD直接成像法、哈特曼波前傳感器測(cè)量法、刀口振動(dòng)法、莫爾法、泰伯效應(yīng)法等等，各種方法所利用的光學(xué)原理各不相同，也各有優(yōu)缺點(diǎn)。 &q4ox7