摘要：我們使用近似的物理光學(xué)模模擬了半徑的測(cè)量。使用簡(jiǎn)單的幾何光線模型替換復(fù)雜的物理光學(xué)模型，可以確定在測(cè)量中的偏差。 [Atc "X$  
sI,W%I':d  
1. 簡(jiǎn)介 3K>gz:dt  
rp's
 
半徑干涉測(cè)量通常通過(guò)簡(jiǎn)單的幾何模型來(lái)模擬，即，來(lái)自物鏡（或標(biāo)準(zhǔn)透鏡）的光線形成錐形并且聚焦到一點(diǎn)[1]。當(dāng)測(cè)試光學(xué)器件變小和/或需要更高的精度時(shí)，這個(gè)簡(jiǎn)單的幾何模型就會(huì)產(chǎn)生問(wèn)題并得到錯(cuò)誤的半徑測(cè)量值。需要完整的物理光學(xué)模型來(lái)捕獲系統(tǒng)的衍射效應(yīng)和像差。 pu9^e4B9  
19c@