芯片級的高精度的物理量測量，如溫度、壓力和折射率等，已成為納米光子學(xué)和納米等離子體共振腔常見的測量方式。 &.t|&8-  
x#s=eeP1  
s
mt6).o  
　　諧振腔作為將局部折射率的微小變化轉(zhuǎn)化為可測量的光譜位移的優(yōu)良換能器，在生物傳感和壓力計(jì)、原子光譜和分子光譜等學(xué)科中得到了廣泛的應(yīng)用.。 M`kR2NCi  
MOEB{~v`;  
　　芯片級微環(huán)和微盤諧振器（MRR）由于其小型化、設(shè)計(jì)制造相對容易且高質(zhì)量，它們的傳遞函數(shù)優(yōu)化的通用性等特點(diǎn)得到了廣泛的應(yīng)用。 U<lCK!85[  
:g[G&Ds8  
　　這樣的共振傳感器的工作原理是基于對諧振器受到周邊微小變化而產(chǎn)生的光譜依賴性的檢測（例如，不同類型的原子和分子氣體、壓力、溫度）。然而，盡管有幾個(gè)重要的成就，這種光學(xué)傳感器仍然是有局限的，他們的表現(xiàn)，其小型化是極具挑戰(zhàn)性的。 !^*I?9P  
VT&R1)c  
　　現(xiàn)在，來自耶路撒冷希伯來大學(xué)的一個(gè)研究小組已經(jīng)證明能夠?qū)崿F(xiàn)在前所未有的小型芯片傳感器上檢測頻率的變化。該方法包括兩個(gè)級聯(lián)微環(huán)諧振器，一個(gè)作為傳感裝置和另外一個(gè)作為參考裝置，從而消除環(huán)境和系統(tǒng)的波動如溫度和激光頻率等影響。 d^<a)>5h  
3e.v'ccK&  
　　“在這里，我們展示了一個(gè)創(chuàng)紀(jì)錄的小尺寸上的高測量精度，為實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)的CMOS工藝集成裝置，鋪平了道路，可用于令人興奮的一些測量情形，如單粒子檢測和高精度芯片級別的測溫，”Uriel Levy教授說，他是耶路撒冷希伯來大學(xué)Harvey M. Krueger Family Center納米科學(xué)和納米技術(shù)中心的主任，并且是瑞秋和塞利姆貝寧學(xué)校計(jì)算機(jī)科學(xué)與工程學(xué)院應(yīng)用物理系的成員。 $@blP<I  
P"WnU'+  
　　其中的創(chuàng)新，使這一發(fā)展可能實(shí)現(xiàn)芯片規(guī)模的集成參考測量，和利用伺服回路鎖定方案，將測量效果從光域轉(zhuǎn)換至射頻域。這些使研究人員可利用成熟的射頻技術(shù)，如頻率計(jì)數(shù)器、頻譜分析儀和原子標(biāo)準(zhǔn)，量化他們系統(tǒng)的能力。