1.孔徑尺寸控制
)7hqJa-V ]>!K3kB 采用小的發(fā)散角的
激光器(0.001~0.003rad),縮短
焦距或降低輸出能量可獲得小的孔徑。對(duì)于熔點(diǎn)高。導(dǎo)熱性好的
材料可實(shí)現(xiàn)孔徑0.01~1mm的微小孔加工,最小孔徑可達(dá)0.001mm。
aHD]k8m z 9p]QM)M 2.孔的深度控制
!M(xG%M-V &s(^@OayE 提高
激光器輸出能量,采用合理的脈沖寬度(材料和導(dǎo)熱性越好,宜取越短的脈沖寬度),應(yīng)用基模模式(光強(qiáng)呈高斯分布的單模)可獲得大的孔深。對(duì)于孔徑小的深孔宜用激光多次照射,并用短焦距(15~30mm)的
物鏡打孔。
rm7ANMB: EAUEQk?9 3.提高激光加工孔的圓度 激光器模式采用基模加工,聚焦
透鏡用消球差物鏡,且透鏡光軸與激
光束光軸重合,工件適合偏離聚焦點(diǎn)以及選擇適當(dāng)?shù)募す饽芰康瓤商岣呒庸A度。
X;$+,&M" e+EQ]<M 4.降低打孔的錐度 通常孔的錐度隨其孔徑比增大而增加,采用適當(dāng)?shù)募す廨敵瞿芰炕蛐∧芰慷啻握丈洌^短的焦距,小的透鏡折射率及減少入射
光線(xiàn)與光軸間的夾角等措施可減小孔的錐度。
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