導(dǎo)讀: 目前,
準(zhǔn)分子激光器有三個(gè)主要的用途:LASIK眼科手術(shù),平板顯示器退火,和
半導(dǎo)體微光刻。
\buZ? lNaez3 準(zhǔn)分子
激光器具有獨(dú)特的材料加工特性,這一特性使得其應(yīng)用范圍日益擴(kuò)大。
n.a=K2H:V |.8d,!5w} 與其他氣體激光器不同,準(zhǔn)分子激光器在應(yīng)用方面的數(shù)目和種類(lèi)不斷的增多。這是因?yàn),?zhǔn)分子激光器所獨(dú)有的特性和性能,這使得準(zhǔn)分子激光器能滿(mǎn)足很多的材料加工的需要。其獨(dú)有的特性也使得它很好的被用于新興的技術(shù)中。目前,主要有兩個(gè)方面應(yīng)用:1) 材料的切除 2)
光學(xué)材料的加工,尤其是打孔,劃線(xiàn),微加工,和其他方面的加工,在這些加工中,其特征尺寸縮小且超出了機(jī)械加工的范圍。準(zhǔn)分子材料切除的本質(zhì)是光燒蝕,它幾乎沒(méi)有熱影響區(qū)域,而且使用準(zhǔn)分子時(shí),切口干凈而且輪廓分明。這些特點(diǎn)使得它十分適合進(jìn)行亞微米范圍的微加工。此外,短
波長(zhǎng)的紫外(UV)準(zhǔn)分子輻射很容易被許多材料所吸收,使得它不論對(duì)硬質(zhì)材料(如,硅和陶瓷)還是對(duì)軟質(zhì)聚合物都能進(jìn)行有效加工。紫外準(zhǔn)分子激光波長(zhǎng)的范圍較廣,這意味著,基本上對(duì)于任何需要加工的材料都能夠找到合適的波長(zhǎng)。大型的多模平頂準(zhǔn)分子光束讓大面積圖案制作所需的光束整形和掩膜技術(shù)成為可能,使得加工效率更高,且能得到復(fù)雜的三維圖案。
M8?#%x6;N :nKsZ1b