最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發(fā)現(xiàn)有水滴狀的色斑在玻璃表面 ,,}sK  
Tr$i= M  
若無鍍MGF2則無此現(xiàn)象，推估為MGF2造成 J& )#G@fRX  
+.wT 9kFcc  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? n_u`B|^Pj  
i[8NO$tN1)  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 'jN/~I  
. Jb?]n  
P.S. aSTFcz"  
H):-!?:  
AR與MGF2皆為EB製程 0w'|d@*wV  
N tO?  
膜層結(jié)構(gòu)為 G / L / H / L / H / L / M D-~G|8g  
2mSD"[%  
起鍍真空為5E-4pa

從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時候羅茨泵和機械泵接著抽2分鐘實驗一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實驗一下

氟化鎂形成的膜層結(jié)構(gòu)是易吸附水分子的，舉例說當最外層氟化鎂少時，用純水 超洗可以把分光變OK,把你的加工條件濕度看下，

yangyangyang:從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時候羅茨泵和機械泵接著抽2分鐘實驗一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實驗一下 (2016-05-05 22:58)  h9w@oRp`~  

n33JTqX  
我用的材料為石英 NE$VeW+@  
=''mpIg(  
您說的沒錯 =$^Wkau  
CWE Ejl  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現(xiàn)象 B*-ToXQQr  
>(IITt  
已經(jīng)確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時候羅茨泵和機械泵接著抽2分鐘實驗一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實驗一下 (2016-05-05 22:58)  ?;0nJf  

pr0@sri@  
我用的材料為石英 "/4s8.dw+u  
!A'
`uf4u  
您說的沒錯 F<PWBs%  
6Nfof  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現(xiàn)象 8w{#R{w  
s,UN'~e1  
已經(jīng)確認放氣時間拉長無法改善此問題

好東西

什么呀

ipnuk 泥漿中

是個好方法

好東西，學習了