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    [原創(chuàng)]說說自己的經(jīng)驗 關(guān)于算tooling和算材料折射率 [復(fù)制鏈接]

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    離線luffy17520
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2016-01-04
    =O8>[u;  
    比如sio2 材料  n一般是1.45 kw#-\RR_c  
    然后3個光學(xué)厚度的話是 180nm  現(xiàn)在電腦里面模擬下3個光學(xué)厚度下的波形,然后鍍180nm厚度的sio2  這個是電腦輸入的值 WcM\4q@  
    然后測試結(jié)果 uM,Ps}  
    sio2 測試反射比較明顯,測試出來的曲線可以用來做2件事 TXyiCS3  
    1.通過測試波形 用其他軟件 可計算你現(xiàn)在鍍膜環(huán)境下的n值,如果偏差不大 可忽略啊 然后只有3個點的n值  算過好多機器和環(huán)境下的sio2的折射率 感覺都差不多 影響不大。 uifVSf*  
    2.用 模擬結(jié)果的特征峰 跟  測試結(jié)果的特征峰  相除可得到tooling值,這個也是粗略的值 但是用下來還是比較方便簡單的 P7Qel