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ZnS和Ag之間掉膜怎么解決
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ZnS和Ag之間掉膜怎么解決
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樓主
發(fā)表于: 2015-08-17
ZnS和Ag之間掉膜,試了幾爐,調(diào)節(jié)不同的離子源輔助
參數(shù)
。就是沒有加熱。都不能解決。這兩個
材料
必須得加熱嗎,我網(wǎng)上查了,說ZnS建議在高溫下
鍍膜
比較牢固,但是Ag建議低的基板溫度。求助各位大神有什么良策解決這個掉膜問題
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yzhuang
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發(fā)表于: 2015-08-19
Ag膜如果加溫會發(fā)霧,反射率下降明顯,我鍍銀的溫度一般控制在50度以下,另外,AG與AL2O3結(jié)合較好,如果要加鍍其他介質(zhì)膜,一般在銀與其他膜之間加AL2O3會更牢
_bX)fnUu
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fly6947
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發(fā)表于: 2015-08-29
第一:原工藝 80° zns 和ag 不用離子源也會牢
M-NR!?