工作壓強范圍（Pn-Pm）：泵能正常工作的壓強范圍
r>Qyc 幾種常用真空泵的工作壓強范圍：
6Y>,e;R 旋片機械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa 擴散泵100-10-5pa 渦輪分子泵101-10-8pa 濺射離子泵100-10-10pa 低溫泵10-1-10-11pa
^Z-. [Y 幾種常用真空泵的工作原理
C :s^s l 旋片機械泵
cFI7}#,5 工作過程是： 吸氣—壓縮—排氣。
P$(WdVG 定子浸在油中起潤滑，密封和堵塞縫隙的作用。
5}X<(q( 主要參量是： 抽速和極限壓強。
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yud 由于極限壓強較高， 常用做前級泵(預抽泵)。
M\y~0 uZ e}?1T7NPG] +YQ~t,/ 旋片式機械泵
J/]o WC`u l 油擴散泵
C>J ekPeM 工作過程是：油蒸發(fā)—噴射—凝結(jié)，重復循環(huán)
KB %j ! ? 由于射流具有高流速(約200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地帶走氣體分子。
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