工作壓強(qiáng)范圍（Pn-Pm）：泵能正常工作的壓強(qiáng)范圍 Ti$G2dBO  
幾種常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍： )CJXkzOX  
旋片機(jī)械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa  擴(kuò)散泵100-10-5pa  渦輪分子泵101-10-8pa 濺射離子泵100-10-10pa 低溫泵10-1-10-11pa LmWZ43Z"@  
  幾種常用真空泵的工作原理 8Wqh 8$  
l        旋片機(jī)械泵 O]3$$uI=QE  
工作過程是： 吸氣—壓縮—排氣。 d,8L-pT$FM  
定子浸在油中起潤滑，密封和堵塞縫隙的作用。 I$7|?8  
主要參量是： 抽速和極限壓強(qiáng)。 #s>AiD  
由于極限壓強(qiáng)較高， 常用做前級(jí)泵(預(yù)抽泵)。 e=Ko4Ao2y  
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旋片式機(jī)械泵 ~"|MwR!0  
l        油擴(kuò)散泵 ;)$bhNFHx  
工作過程是：油蒸發(fā)—噴射—凝結(jié)，重復(fù)循環(huán) M15Ce)oB1(  
由于射流具有高流速(約200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地帶走氣體分子。 Zgy~Y0Di  
擴(kuò)散泵不能單獨(dú)使用，一般采用機(jī)械泵為前級(jí)泵，以滿足出口壓強(qiáng)(最大40Pa)，如果出口壓強(qiáng)高于規(guī)定值，抽氣作用就會(huì)停止。 <+Eu.K&  
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